Tinggalkan Mesej

Tinggalkan Mesej

Jika anda berminat dengan produk kami dan ingin mengetahui butiran lanjut, sila tinggalkan mesej di sini, kami akan membalas anda secepat mungkin.
serahkan
sepanduk
Rumah Penyejuk All-In-One Suhu Tinggi Dan Rendah

Produk Terkini Nanjing Lidesheng: Mesin Kitaran Suhu (-60°C hingga 300°C) untuk Industri Semikonduktor

Produk Terkini Nanjing Lidesheng: Mesin Kitaran Suhu (-60°C hingga 300°C) untuk Industri Semikonduktor

Unit penyejuk-pemanas kawalan suhu jitu yang dikhaskan untuk industri semikonduktor merupakan peralatan proses utama yang mengintegrasikan pemanasan, penyejukan dan kawalan suhu gelung tertutup. Ia boleh mencapai kawalan suhu yang tepat dalam lingkungan ±0.05℃ hingga ±0.1℃ dalam julat luas -100℃ hingga +300℃, menyediakan persekitaran terma yang stabil untuk proses seperti litografi, pengetsaan, pendopan dan ujian pembungkusan, yang secara langsung mempengaruhi hasil dan prestasi kerepek.

  • Perkara No :

    LCH-05W(A)-10W
  • Pesanan(MOQ) :

    1
  • Bayaran :

    EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDU
  • Asal Produk :

    CHINA
  • warna :

    Customizable
  • Pelabuhan Penghantaran :

    SHANGHAI/NANJING
  • Masa Utama :

    22
  • Berat badan :

    160KG
heating and cooling all-in-one uint

Bersepadu panas dan sejuk unit kawalan suhu

Peralatan ini berdasarkan kitaran penyejukan dengan pampasan mampatan dan pemanasan elektrik, dan mencapai kawalan suhu ketepatan tinggi melalui sistem kawalan gelung tertutup:

Bahagian penyejukan: Pemampat → Kondenser → Injap Pengembangan → Penyejat. Perubahan fasa bahan pendingin digunakan untuk menyingkirkan haba, membolehkan suhu menurun dengan cepat kepada -100℃ atau lebih rendah.

Bahagian pemanasan: Algoritma PID memacu pemanas elektrik untuk mengimbangi haba dengan tepat, mencapai kenaikan suhu dan suhu malar yang stabil.

Kawalan gelung tertutup: Sensor rintangan platinum PT100/PT1000 mengumpul suhu sederhana secara berterusan, digabungkan dengan PID suapan hadapan atau kawalan ramalan model (MPC), melaraskan kuasa penyejukan/pemanasan secara dinamik, menyekat gangguan beban, dan ketepatan keadaan mantap boleh mencapai ±0.05℃.

Peredaran bersih: Saluran paip yang ditutup sepenuhnya + reka bentuk bebas minyak, mengelakkan pencemaran sederhana, selaras dengan piawaian SEMI S2/S8, sesuai untuk cecair berfluorin, larutan air etilena glikol dan media pengalir haba khas yang lain.

Ciri-ciri

Bersepadupanas dan sejuk unit kawalan suhu

Proses litografi: Sejukkan sumber cahaya DUV/EUV dan sistem optik, dengan ketepatan kawalan suhu ±0.05℃, untuk mengelakkan pengembangan haba daripada menyebabkan ralat tindanan.

Proses pengukiran: Laraskan suhu larutan pengukiran (20℃~80℃), stabilkan kadar pengukiran, dan kurangkan kekasaran permukaan wafer.

Doping dan penyepuhlindapan: Resapan haba (150℃~300℃), penyepuhlindapan suntikan pasca-ion (80℃~200℃), untuk membaiki kerosakan kekisi dan mengaktifkan atom dopan.

Pembungkusan dan pengujian: Kitaran suhu tinggi dan rendah (-40℃~+150℃) untuk mensimulasikan persekitaran ekstrem, mengesahkan kebolehpercayaan peranti, dengan kadar kenaikan dan penurunan suhu sehingga 5℃/min.

Pelesapan haba peringkat wafer: Kawalan suhu bebas berbilang saluran, menyediakan penyejukan seragam untuk pembungkusan lanjutan (seperti CoWoS, Chiplet), menyekat crosstalk terma.

Prinsip kerja teras

Kitaran Penyejukan

Ia menggunakan bahan pendingin mesra alam (R410A/R134a). Pemampat hermetik sepenuhnya memampatkan bahan pendingin untuk membentuk gas suhu tinggi dan tekanan tinggi. Selepas gas disejukkan dan dicairkan oleh kondenser, ia mengalami pendikitan dan pengurangan tekanan melalui injap pengembangan. Kemudian, pertukaran haba dilakukan antara bahan pendingin dan medium peredaran (minyak pemindahan haba/larutan akueus etilena glikol) dalam penyejat, untuk menyejukkan medium peredaran dan membekalkan tenaga sejuk untuk reaktor.

Kitaran Pemanasan

Ia menggunakan tiub pemanasan keluli tahan karat (atau pemanasan elektromagnet). Kuasa pemanasan dikawal oleh modul pengawalan kuasa pintar untuk memanaskan medium yang beredar secara langsung, sekali gus menyediakan haba untuk reaktor (menyokong kenaikan suhu yang cepat dan penebat suhu malar).

 

Gambarajah dan Spesifikasi Aliran Proses
 
Water temperature control unit
 
 

Soalan Lazim

S1: Tidak Dapat Mencapai Suhu yang Ditetapkan

A1: Ini mungkin disebabkan oleh kebocoran bahan pendingin, kegagalan pemampat, atau penyumbatan dalam sistem peredaran. Adalah perlu untuk memeriksa sama ada bahan pendingin mencukupi, membaiki titik kebocoran dan mengecas semula bahan pendingin; memeriksa status pemampat dan melakukan penyelenggaraan atau penggantian jika perlu; membersihkan sistem peredaran untuk menghapuskan penyumbatan.

 

S2: Bunyi tidak normal daripada pam air atau kegagalan untuk beroperasi secara normal.

A2: Periksa keadaan pendesak dan galas pam air; gantikannya jika rosak. Periksa sama ada sambungan motor berada dalam keadaan baik dan pastikan bekalan kuasa normal.

 

S3: Kadar Pemanasan/Penyejukan Perlahan

A3: Pastikan pemanas/penyejuk berfungsi dengan baik; mungkin perlu menggantikan elemen pemanasan elektrik atau elemen penyejukan. Periksa sama ada penukar haba tersumbat atau tercemar—membersihkan penukar haba boleh memulihkan prestasinya. Pastikan bahan pendingin beredar dengan lancar; mungkin diperlukan untuk memeriksa dan membersihkan saluran paip bahan pendingin.

 

S4: Bolehkah anda menyediakan penyelesaian OEM atau tersuai?

A4: Ya, kami menawarkan perkhidmatan OEM dan sistem kawalan suhu yang disesuaikan mengikut keperluan proses khusus anda (julat suhu, medium, kapasiti penyejukan, dll.).

Tinggalkan Mesej
Jika anda berminat dengan produk kami dan ingin mengetahui butiran lanjut, sila tinggalkan mesej di sini, kami akan membalas anda secepat mungkin.

Produk Berkaitan

heating and cooling integrated machine
Mesin bersepadu air sejuk dan panas perlindungan berbilang lapisan yang sesuai untuk R&D di makmal biologi

Unit semua-dalam-satu pemanasan-penyejukan berfungsi sebagai peranti kawalan suhu kritikal dalam industri semikonduktor, terutamanya menyediakan pengawalaturan suhu yang tepat dan stabil untuk peralatan proses dan bahan kerja semasa pengeluaran dan pengujian semikonduktor bagi menjamin hasil proses dan prestasi produk.

BACA LAGI
heating and cooling integrated machine
Produk Terkini Nanjing Lidesheng: Mesin Kitaran Suhu (-60°C hingga 300°C) untuk Industri Semikonduktor

Unit penyejuk-pemanas kawalan suhu jitu yang dikhaskan untuk industri semikonduktor merupakan peralatan proses utama yang mengintegrasikan pemanasan, penyejukan dan kawalan suhu gelung tertutup. Ia boleh mencapai kawalan suhu yang tepat dalam lingkungan ±0.05℃ hingga ±0.1℃ dalam julat luas -100℃ hingga +300℃, menyediakan persekitaran terma yang stabil untuk proses seperti litografi, pengetsaan, pendopan dan ujian pembungkusan, yang secara langsung mempengaruhi hasil dan prestasi kerepek.

BACA LAGI
heating and cooling integrated machine
Mesin Bersepadu Panas dan Sejuk Pintar Kawalan PLC untuk Pempolimeran Polimer Tinggi Kimia

Mesin bersepadu pemanasan dan penyejukan kawalan PLC pintar untuk pempolimeran kimia ialah peranti kawalan suhu berketepatan tinggi yang mengintegrasikan pemanasan, penyejukan, peredaran dan kawalan pintar. Teras peranti ini mencapai kawalan julat suhu yang luas (biasanya -80℃ hingga 300℃) dengan ketepatan ±0.1℃ melalui algoritma PLC + skrin sentuh + PID. Ia direka bentuk untuk memenuhi keperluan teras tindak balas pempolimeran dengan pelepasan haba yang kuat, kawalan suhu berbilang peringkat dan pencegahan "reaktor pelarian haba / mati". Peralatan ini ialah peranti proses utama untuk sintesis polimer.

BACA LAGI
Pemanasan dan Penyejukan Siri LCH semua - dalam - satu unit(-30-120℃)LCH-03W(A)-10W
Pemanasan dan Penyejukan Siri LCH semua - dalam - satu unit(-30-120℃)LCH-03W(A)-10W

Pemanasan dan penyejukan unit semua-dalam-satu ialah peranti kawalan suhu industri yang menggunakan air sebagai medium pemindahan haba dan pada masa yang sama boleh mencapai pemanasan, penyejukan dan kawalan suhu yang tepat.

BACA LAGI
LCH -03W(A)-10O Siri Pemanasan dan Menyejukkan semua - dalam - satu unit(-40-200℃)
LCH -03W(A)-10O Siri Pemanasan dan Menyejukkan semua - dalam - satu unit(-40-200℃)

Unit semua-dalam-satu pemanasan dan penyejukan ialah peranti kawalan suhu industri yang boleh mencapai fungsi pemanasan dan penyejukan secara serentak, serta mengawal suhu sasaran dengan tepat.

BACA LAGI
Mesin Bersepadu Penyejukan & Pemanasan Proses Penjimatan Tenaga Pintar untuk Kawalan Suhu Reaktor Kimia
Mesin Bersepadu Penyejukan & Pemanasan Proses Penjimatan Tenaga Pintar untuk Kawalan Suhu Reaktor Kimia

Peralatan ini menggunakan reka bentuk "edaran berganda + kaitan pintar". Melalui operasi penyelarasan sistem penyejukan, sistem pemanasan, saluran paip edaran dan sistem kawalan pintar, ia mencapai peraturan suhu yang tepat.

BACA LAGI

Tinggalkan Mesej

Tinggalkan Mesej
Jika anda berminat dengan produk kami dan ingin mengetahui butiran lanjut, sila tinggalkan mesej di sini, kami akan membalas anda secepat mungkin.
serahkan

Rumah

Produk

WhatsApp

kenalan