
Produk Terkini Nanjing Lidesheng: Mesin Kitaran Suhu (-60°C hingga 300°C) untuk Industri Semikonduktor
Unit penyejuk-pemanas kawalan suhu jitu yang dikhaskan untuk industri semikonduktor merupakan peralatan proses utama yang mengintegrasikan pemanasan, penyejukan dan kawalan suhu gelung tertutup. Ia boleh mencapai kawalan suhu yang tepat dalam lingkungan ±0.05℃ hingga ±0.1℃ dalam julat luas -100℃ hingga +300℃, menyediakan persekitaran terma yang stabil untuk proses seperti litografi, pengetsaan, pendopan dan ujian pembungkusan, yang secara langsung mempengaruhi hasil dan prestasi kerepek.
Perkara No :
LCH-05W(A)-10WPesanan(MOQ) :
1Bayaran :
EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDUAsal Produk :
CHINAwarna :
CustomizablePelabuhan Penghantaran :
SHANGHAI/NANJINGMasa Utama :
22Berat badan :
160KG
Bersepadu panas dan sejuk unit kawalan suhu
Peralatan ini berdasarkan kitaran penyejukan dengan pampasan mampatan dan pemanasan elektrik, dan mencapai kawalan suhu ketepatan tinggi melalui sistem kawalan gelung tertutup:
Bahagian penyejukan: Pemampat → Kondenser → Injap Pengembangan → Penyejat. Perubahan fasa bahan pendingin digunakan untuk menyingkirkan haba, membolehkan suhu menurun dengan cepat kepada -100℃ atau lebih rendah.
Bahagian pemanasan: Algoritma PID memacu pemanas elektrik untuk mengimbangi haba dengan tepat, mencapai kenaikan suhu dan suhu malar yang stabil.
Kawalan gelung tertutup: Sensor rintangan platinum PT100/PT1000 mengumpul suhu sederhana secara berterusan, digabungkan dengan PID suapan hadapan atau kawalan ramalan model (MPC), melaraskan kuasa penyejukan/pemanasan secara dinamik, menyekat gangguan beban, dan ketepatan keadaan mantap boleh mencapai ±0.05℃.
Peredaran bersih: Saluran paip yang ditutup sepenuhnya + reka bentuk bebas minyak, mengelakkan pencemaran sederhana, selaras dengan piawaian SEMI S2/S8, sesuai untuk cecair berfluorin, larutan air etilena glikol dan media pengalir haba khas yang lain.
Proses litografi: Sejukkan sumber cahaya DUV/EUV dan sistem optik, dengan ketepatan kawalan suhu ±0.05℃, untuk mengelakkan pengembangan haba daripada menyebabkan ralat tindanan.
Proses pengukiran: Laraskan suhu larutan pengukiran (20℃~80℃), stabilkan kadar pengukiran, dan kurangkan kekasaran permukaan wafer.
Doping dan penyepuhlindapan: Resapan haba (150℃~300℃), penyepuhlindapan suntikan pasca-ion (80℃~200℃), untuk membaiki kerosakan kekisi dan mengaktifkan atom dopan.
Pembungkusan dan pengujian: Kitaran suhu tinggi dan rendah (-40℃~+150℃) untuk mensimulasikan persekitaran ekstrem, mengesahkan kebolehpercayaan peranti, dengan kadar kenaikan dan penurunan suhu sehingga 5℃/min.
Pelesapan haba peringkat wafer: Kawalan suhu bebas berbilang saluran, menyediakan penyejukan seragam untuk pembungkusan lanjutan (seperti CoWoS, Chiplet), menyekat crosstalk terma.
S1: Tidak Dapat Mencapai Suhu yang Ditetapkan
A1: Ini mungkin disebabkan oleh kebocoran bahan pendingin, kegagalan pemampat, atau penyumbatan dalam sistem peredaran. Adalah perlu untuk memeriksa sama ada bahan pendingin mencukupi, membaiki titik kebocoran dan mengecas semula bahan pendingin; memeriksa status pemampat dan melakukan penyelenggaraan atau penggantian jika perlu; membersihkan sistem peredaran untuk menghapuskan penyumbatan.
S2: Bunyi tidak normal daripada pam air atau kegagalan untuk beroperasi secara normal.
A2: Periksa keadaan pendesak dan galas pam air; gantikannya jika rosak. Periksa sama ada sambungan motor berada dalam keadaan baik dan pastikan bekalan kuasa normal.
S3: Kadar Pemanasan/Penyejukan Perlahan
A3: Pastikan pemanas/penyejuk berfungsi dengan baik; mungkin perlu menggantikan elemen pemanasan elektrik atau elemen penyejukan. Periksa sama ada penukar haba tersumbat atau tercemar—membersihkan penukar haba boleh memulihkan prestasinya. Pastikan bahan pendingin beredar dengan lancar; mungkin diperlukan untuk memeriksa dan membersihkan saluran paip bahan pendingin.
S4: Bolehkah anda menyediakan penyelesaian OEM atau tersuai?
A4: Ya, kami menawarkan perkhidmatan OEM dan sistem kawalan suhu yang disesuaikan mengikut keperluan proses khusus anda (julat suhu, medium, kapasiti penyejukan, dll.).
Tinggalkan Mesej
Scan to Wechat/Whatsapp :