
Mesin bersepadu air sejuk dan panas perlindungan berbilang lapisan yang sesuai untuk R&D di makmal biologi
Unit semua-dalam-satu pemanasan-penyejukan berfungsi sebagai peranti kawalan suhu kritikal dalam industri semikonduktor, terutamanya menyediakan pengawalaturan suhu yang tepat dan stabil untuk peralatan proses dan bahan kerja semasa pengeluaran dan pengujian semikonduktor bagi menjamin hasil proses dan prestasi produk.
Perkara No :
LCH-05W(A)-10WPesanan(MOQ) :
1Bayaran :
EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDUAsal Produk :
CHINAwarna :
CustomizablePelabuhan Penghantaran :
SHANGHAI/NANJINGMasa Utama :
22Berat badan :
160KG
Siri LCH Air unit kawalan suhu
Pembuatan cip semikonduktor (litografi, etsa, pemendapan) dan pengujian adalah sangat sensitif terhadap suhu:
Ketepatan tinggi: Penyimpangan suhu menyebabkan herotan corak wafer dan pemendapan filem nipis yang tidak sekata, dengan ketepatan yang diperlukan ±0.1℃ atau lebih tinggi.
Julat suhu yang luas: Proses memerlukan suhu yang berbeza – rendah (-40℃~0℃) untuk beberapa ukiran, tinggi (50℃~150℃) untuk beberapa pembungkusan dan pengujian.
Respons pantas: Pemanasan/penyejukan pantas semasa penukaran proses mengurangkan kitaran pengeluaran.
Kestabilan: Suhu malar yang berterusan mengelakkan ketidakkonsistenan prestasi yang disebabkan oleh perubahan suhu.
Air di dalam tangki berfungsi sebagai medium dan dihantar ke peralatan terkawal suhu (seperti acuan dan cerek tindak balas) melalui pam edaran.
Selepas mengalir melalui peralatan, medium membawa tenaga haba atau sejuk dan kembali ke unit utama.
Sensor suhu di dalam unit utama mengesan suhu medium dan membandingkannya dengan nilai yang ditetapkan.
Jika suhu lebih rendah daripada nilai yang ditetapkan, sistem pemanasan akan diaktifkan; jika ia lebih tinggi daripada nilai yang ditetapkan, sistem penyejukan akan diaktifkan. Proses ini berterusan sehingga suhu medium memenuhi keperluan yang ditetapkan, selepas itu medium dihantar semula ke peralatan terkawal.
S1: Tidak Dapat Mencapai Suhu yang Ditetapkan
A1: Ini mungkin disebabkan oleh kebocoran bahan pendingin, kegagalan pemampat, atau penyumbatan dalam sistem peredaran. Adalah perlu untuk memeriksa sama ada bahan pendingin mencukupi, membaiki titik kebocoran dan mengecas semula bahan pendingin; memeriksa status pemampat dan melakukan penyelenggaraan atau penggantian jika perlu; membersihkan sistem peredaran untuk menghapuskan penyumbatan.
S2: Bunyi tidak normal daripada pam air atau kegagalan untuk beroperasi secara normal.
A2: Periksa keadaan pendesak dan galas pam air; gantikannya jika rosak. Periksa sama ada sambungan motor berada dalam keadaan baik dan pastikan bekalan kuasa normal.
S3: Kadar Pemanasan/Penyejukan Perlahan
A3: Pastikan pemanas/penyejuk berfungsi dengan baik; mungkin perlu menggantikan elemen pemanasan elektrik atau elemen penyejukan. Periksa sama ada penukar haba tersumbat atau tercemar—membersihkan penukar haba boleh memulihkan prestasinya. Pastikan bahan pendingin beredar dengan lancar; mungkin diperlukan untuk memeriksa dan membersihkan saluran paip bahan pendingin.
S4: Operasi Pemampat yang Tidak Normal
A4: Periksa sama ada bekalan kuasa stabil dan memenuhi keperluan peralatan. Periksa pemampat untuk bunyi atau getaran yang tidak normal, yang mungkin disebabkan oleh kerosakan atau haus bahagian dalaman. Bersihkan dan periksa kondenser—jika habuk atau kotoran terkumpul pada kondenser, ia boleh menyebabkan pemampat terlalu panas.
Tinggalkan Mesej
Scan to Wechat/Whatsapp :